分光干涉式激光位移計

產品陣容

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多層膜厚測量儀

實現多層膜厚, 采用近紅外光?沒有危害, 實時在線檢測,一秒1000次的采樣頻率,為當今膜厚測量儀的提供新的可能性。

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SI-F 系列 - 微型傳感頭型分光干涉式 激光位移計

業界超細微型傳感器頭，超高精度，解決了內置電子零件傳感次的發熱問題，也不受電磁噪聲影響。

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SI-F80R 系列 - 分光干涉式晶片厚度計

采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產生的顯著差異，也可實現準確的生產線上測量。

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