分光干涉位移型多層膜厚測量儀

SI-T 系列

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分光干涉位移型多層膜厚測量儀 SI-T 系列

從單層到多層,可以實現(xiàn)在線穩(wěn)定測量

追求“易用性”,使導(dǎo)入變得更為簡單。融合 KEYENCE 的激光位移計和分光干涉計,改變了當(dāng)今膜厚測量儀的傳統(tǒng)概念。

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多層膜厚測量儀

實現(xiàn)多層膜厚, 采用近紅外光?沒有危害, 實時在線檢測,一秒1000次的采樣頻率,為當(dāng)今膜厚測量儀的提供新的可能性。

產(chǎn)品特性

粘附層也可以穩(wěn)定測量

借助 KEYENCE配備的光量累計功能,
類似粘附層等粗糙的表面,也可以實現(xiàn)穩(wěn)定測量。

實現(xiàn)廣范圍測量

在拉伸制程等過程中,可以應(yīng)用于上游至下游的各種場所。

針對測量場景量身定制的陣容

多層位移測量型 SI-T10

參考距離 : 9 mm | 測量范圍 : 0.01 ~ 1.0 mm | 特點 : 簡便測量多層膜 / 可測量位移 / ?8 mm &設(shè)定距離9 mm 的空間節(jié)省型

長距離厚度測量型 SI-T80

參考距離 : 80 mm | 測量范圍 : 0.01 ~ 1.0 mm | 特點 : 設(shè)定80 mm 的長距離 / 抗工件抖動 / 有利于高溫工件

應(yīng)用

在制程內(nèi)測量基材厚

涂布后的濕膜厚度測量