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測量5
反射型2D激光移位計
使用2D激光移位計同時測量基礎面和工件,并根據獲取的形狀測量高度差,以此求出厚度。
要點
如果工件與基礎面之間產生間隙,則會產生誤差。
①
使用如平板一般面精度較高的基礎面。
②
利用真空吸附或磁力吸附。
等,
提高緊密性至關重要。
LJ-X系列
2D三角測量方式
通過激光線束實現多點測量
超高速 64000次拍攝/ 秒
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LT系列
共焦方式
光點直徑φ2 μm
薄膜測量能力較高
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tcm:115-1582560-64